特許
J-GLOBAL ID：200903034805449613
球状シリカ微粒子製造用バーナー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲高▼野 俊彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-270498
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089224
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【目的】 粒度分布がブロードな球状シリカ微粒子を製造することができる球状シリカ微粒子製造用バーナーを提供する。【構成】 断面同心円状に配列された少なくとも3本の直管型ノズルからなるノズル群10と、これを取り巻いて複数個のノズル21が配列されてなるノズル群20と、これらノズル群10及び20を包摂して配設される最外殻ノズル30とからなる複合ノズルを備えた球状シリカ微粒子製造用バーナー。ノズル群10の最も内側のノズル11からガス状のアルコキシシランと不活性ガスの混合ガスを噴出し、中間のノズル12から酸素、酸素と不活性ガスの混合ガス、不活性ガスのいずれかを噴出する。ノズル群20は酸素を噴出し、少なくとも1本のノズル21の中心線Bがノズル群10の中心線Aとガス噴出側の交点Dで交差し、且つ交点Dを頂点とし各ノズル21の中心線Bを線素として形成される円錐面群が、同一円錐面となる場合を除いて、少なくとも各ノズルを包含する領域において互いに交差しないように設けられる。最外殻ノズル30は水素を噴出する。
請求項（抜粋）：
断面同心円状に配列された少なくとも3本の直管型ノズルからなり、最も内側のノズルからガス状のアルコキシシランと不活性ガスの混合ガスを噴出し、中間のノズルから酸素、酸素と不活性ガスの混合ガス、不活性ガスのいずれかを噴出し、最も外側のノズルから水素を噴出する第1のノズル群と;該第1のノズル群を取り巻いて複数個配列され、少なくとも1本のノズルの中心線が前記第1のノズル群の中心線とガス噴出側の交点で交差し、且つ各ノズルの中心線と前記第1のノズル群の中心線との交点を頂点とし各ノズルの中心線を線素として形成される円錐面群が、同一円錐面となる場合を除いて、少なくとも各ノズルを包含する領域において互いに交差しないように設けられた、酸素を噴出する第2のノズル群と;前記第1及び第2のノズル群を包摂して配設された水素を噴出する最外殻ノズルと;からなる複合ノズルを備えたことを特徴とする球状シリカ微粒子製造用バーナー。
IPC (3件)：
F23D 14/32
, C03B 8/04
, F23D 14/22
F23D 14/32
, C03B 8/04
, F23D 14/22 E
