特許

J-GLOBAL ID：200903034822740771

機能水の製造方法及びその製造装置

発明者： 泉 友紀 ,  伊藤 正樹
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164011
公開番号（公開出願番号）：特開2004-008882
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】洗浄工程から回収された機能水排水を、別途処理設備を設けることなく、良好な水質の機能水原料水として回収再利用し、排水回収率を向上した機能水の製造方法及びその製造装置を提供する。【解決手段】1)水中の懸濁物質を除去する前処理設備、2)前処理水を脱イオンして純水を製造する一次純水製造設備、3)一次純水を超純水とする二次純水製造設備、4)超純水にガスを溶解して機能水を製造する機能水供給設備を有する機能水製造装置を用いる機能水の製造方法であって、使用済みの機能水の回収排水を、回収排水の水質に応じて、機能水製造装置の前記1)〜4)のいずれかの設備へ返送する機能水の製造方法及びその装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

1)水中の懸濁物質を除去する前処理設備、2)前処理水を脱イオンして純水を製造する一次純水製造設備、3)一次純水を超純水とする二次純水製造設備、4)超純水にガスを溶解して機能水を製造する機能水供給設備を有する機能水製造装置を用いる機能水の製造方法であって、使用済みの機能水の回収排水を、回収排水の水質に応じて、機能水製造装置の前記1)〜4)のいずれかの設備へ返送することを特徴とする機能水の製造方法。

IPC (4件)：

B08B3/14 ,  B08B3/08 ,  C02F1/68 ,  C11D7/02

FI (13件)：

B08B3/14 ,  B08B3/08 Z ,  C02F1/68 510A ,  C02F1/68 520B ,  C02F1/68 530A ,  C02F1/68 530K ,  C02F1/68 540A ,  C02F1/68 540B ,  C02F1/68 540C ,  C02F1/68 540D ,  C02F1/68 540E ,  C02F1/68 540Z ,  C11D7/02

Fターム (14件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB98 ,  3B201CD22 ,  4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003EA12 ,  4H003EA23 ,  4H003EA31 ,  4H003ED02 ,  4H003EE04 ,  4H003FA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電子材料用洗浄水
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-355180   出願人：栗田工業株式会社
• 超純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-093163   出願人：オルガノ株式会社
• 洗浄装置からの排水の再利用のための方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-318357   出願人：三菱電機株式会社