特許
J-GLOBAL ID：200903034911754778

ステージの送り装置

発明者：
佐野 一彦

佐野 一彦 について

, 
吉田 英博

吉田 英博 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041319
公開番号（公開出願番号）：特開2002-245684
出願日： 2001年02月19日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】【課題】 ステージを移動し被加工部材を加工する際に、加工部と被加工部材との送り精度が悪く加工ミスが発生する。本発明はコンパクトで送り精度が高いステージの送り装置を提供する。【解決手段】 本発明のステージの送り装置において、ステージの垂直方向を規制するガイドを両翼に設け、その内側中央付近に駆動部を配し、その横に計測部を近接して設けて、駆動部の近くに水平方向ガイドを設ける。記録レンズは計測部の延長線上に設ける。水平方向ガイドを片側のみにし、駆動点と重心を近接して設けることにより、ステージにヨーイングを起こさせない。
請求項（抜粋）：
実質的にステージの重心上を駆動点が通るように前記ステージの下に配置した駆動部と、前記ステージの両翼に配置した、前記ステージを垂直方向に位置規制する一対の垂直方向ガイド部と、前記一対の垂直方向ガイド部の外側に前記ステージを垂直方向下向きに引き付ける一対の磁石と、一対の前記垂直方向ガイドの内側で水平方向に前記ステージを位置規制する一つの水平方向ガイド部と、前記ステージの位置を計測する計測部と、前記計測部の延長線上または前記計測部の延長線と前記駆動部の延長線の間に配置した加工部と、を有し、被加工部材の加工位置で、前記被加工部材と干渉しない位置に前記駆動部、前記計測部を配置するステージの送り装置において、前記ステージ移動時に、前記水平方向ガイド部から遠くに位置する前記垂直方向ガイド部の一方と前記水平方向ガイド部との間を被加工部材が通り、前記加工部が前記被加工部材を走査して前記加工部より前記被加工部材を加工するステージの送り装置。
Fターム (4件)：
5D121AA02 ,  5D121BA01 ,  5D121BB38 ,  5D121JJ03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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