特許
J-GLOBAL ID：200903034919205129

シリコン溶融用ルツボとその製造方法

発明者：
脇田 三郎

脇田 三郎 について

, 
佐々木 順一

佐々木 順一 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147293
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335994
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：
【要約】【課題】 固体シリコンを溶融するときに該固体シリコンを収容するルツボにおいて、シリコン溶融中の変形が少なく、カーボン製外ルツボを必要としないシリコン溶融用ルツボおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 所望のルツボの内側空間と同じ形状を有する鑞型の表面にシリカ粉末を混合したスラリーを付着した後、そのスラリー層表面にシリカ砂8を散布してスタッコ層6aを形成する操作を任意回数繰り返して、スラリー層とスタッコ層6aとが交互に積層したルツボ殻を形成し、その後、前記鑞型を溶融除去して該ルツボ殻を焼成する。
請求項（抜粋）：
シリコン溶融用ルツボの製造方法において、所望のルツボの内側空間と同じ形状を有する鑞型の表面にコロイダルシリカとシリカ粉末を混合したスラリーを付着した後、そのスラリー層表面にシリカ砂を散布してスタッコ層を形成する操作を任意回数繰り返して、スラリー層とスタッコ層とが交互に積層したルツボ殻を形成し、その後、前記鑞型を溶融除去して該ルツボ殻を焼成することを特徴とするシリコン溶融用ルツボの製造方法。
IPC (4件)：
C30B 15/10 ,  B22C 9/04 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208
FI (5件)：
C30B 15/10 ,  B22C 9/04 E ,  B22C 9/04 R ,  C30B 29/06 502 A ,  H01L 21/208 P
Fターム (15件)：
4E093MB01 ,  4E093MB04 ,  4E093MB05 ,  4E093MC01 ,  4E093MC02 ,  4E093MC08 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077PD02 ,  4G077PD05 ,  5F053AA12 ,  5F053BB04 ,  5F053BB09 ,  5F053DD01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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