α-置換アクリル酸エステル誘導体及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-140023
公開番号（公開出願番号）：特開2009-286720
出願日： 2008年05月28日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：

【課題】波長193nm付近における高い透明性を維持しながら、溶解速度のコントロールに優れたフォトレジスト組成物用高分子化合物の材料として有用である、新規なα-置換アクリル酸エステル誘導体およびその効率的な製造方法を提供する。【解決手段】下記一般式(I) 【化1】(式中、R1は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基または炭素数1〜5のフッ素化アルキル基を表し、R2およびR3はそれぞれ独立して水素原子、任意の位置に酸素原子を含んでいても良いアルキル基、任意の位置に酸素原子を含んでいても良いシクロアルキル基を表すか、または両者が結合してアルキレン基を表し、Wは任意の位置に酸素原子を含んでいても良い環状のアルキレン基を表す。)で示されるα-置換アクリル酸エステル誘導体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：