透過型電子顕微鏡のCCDカメラ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川泰男 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-555272
公開番号（公開出願番号）：特表2002-518808
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
要約：

【要約】高電圧電子顕微鏡のCCDカメラ(12)の性能を改善するために、電子減速器(14)が顕微鏡の柱状部とCCD(12)との間に挿入される。この構成は、顕微鏡の光学系の最適化及びビームの標本との相互作用の最適化を維持しつつ、CCDカメラ(12)のシンチレータ(46)との電子ビームの相互作用を最適化する。標本とカメラとの間の電子ビームエネルギーを変化させることにより、両者を最適化することができる。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡と共に使用する減速器-CCD装置において、高電圧電子ビームを受け取り、低電圧電子ビームを作る減速器と、減速器から低電圧電子ビームを受け取る位置に配置された荷電結合素子(CCD)と、を備える装置。

IPC (2件)：

H01J 37/26 , H01J 37/244

FI (2件)：

H01J 37/26 , H01J 37/244

Fターム (3件)：

5C033NN03 , 5C033NP08 , 5C033SS04

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平2-015545
特開平1-017368
X線撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-017282 出願人：松下電器産業株式会社

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審査官引用 (12件)

特開平2-015545
特開平2-015545
特開平2-015545

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