特許
J-GLOBAL ID：200903062177155218

電子顕微鏡の影像検出器の解像度を改良しノイズを低減する方法及び装置

発明者：
ムーニー,ポール・イー

ムーニー,ポール・イー について

, 
ハント,ジョン・エイ

ハント,ジョン・エイ について


出願人/特許権者：
ガタン・インコーポレーテッド

ガタン・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-503282
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505794
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：
【要約】検出器の相互作用容積全体を小さくし又は検出器のエネルギー変換容積を小さくすることによって電子影像検出器の性能を改良する方法及び装置が提供される。1つの実施例において、電子顕微鏡(10)の影像電子検出器(20)の解像度を改善しノイズを低減する方法が提供され、この方法は、電子が影像電子検出器のエネルギー変換容積と相互作用する前、又は電子と相互作用するときのいずれかにおいて、大きなエネルギーの電子を減速する工程を有する。他の実施例において、大きなエネルギーの電子の空間的に側方への動きは、電子が影像電子検出器を横切るとき制限され、大きなエネルギーの電子からの電子の後方散乱の範囲が制限される。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡用の影像電子検出器の解像度を改善しノイズを低減する方法であって、大きなエネルギーの電子ビーム及び影像電子検出器を提供する工程、及び前記電子が前記影像電子検出器のエネルギー変換容積と相互作用をする前、若しくは前記影像電子検出器のエネルギー変換容積と相互作用をするとき、前記大きなエネルギーの電子を減速する工程、を含む前記方法。
IPC (3件)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/244
FI (3件)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/22 501 C ,  H01J 37/244
引用特許：
審査官引用 (20件)
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