特許
J-GLOBAL ID：200903035038531712

研磨布用ドレッサーおよびその製造方法

発明者：
松澤 豊

松澤 豊 について

, 
藤原 一夫

藤原 一夫 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066860
公開番号（公開出願番号）：特開2001-252871
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：
【要約】【課題】 化学機械研磨に用いる研磨布表面のドレッシングに際して、研磨布へのダイヤモンド砥粒脱落の恐れがなく、ドレッサーのドレッシング能力の製品間ばらつきを低減し、ドレッシング後の研磨布の長寿命化、研磨レートの高レート維持を可能にする。【解決手段】 ドレッサーの切削面に、大粒径のダイヤモンド砥粒3と小粒径のダイヤモンド砥粒2を混合して均一に貼り付ける。小粒径のダイヤモンド砥粒2で、研磨布表面に固着した研磨屑、スラリーを除去し、目詰まりしたポアを開孔する。大粒径ダイヤモンド砥粒3で、表面を深く切り込んで強制的にポア径よりも大きな溝を形成し研磨布表面を部分的に荒れた状態にして、研磨レートを高レート化する。2つの切削面を持つことにより、表面を必要以上に切削することなく、研磨布の長寿命化、かつ高研磨レートを可能にする。
請求項（抜粋）：
平均粒径の異なる少なくとも2種類の砥粒を、所定の割合で台金上に分布させ固定した研磨布用ドレッサー。
IPC (6件)：
B24B 53/12 ,  B24B 37/00 ,  B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 3/06
FI (6件)：
B24B 53/12 Z ,  B24B 37/00 A ,  B24D 3/00 310 B ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 3/06 B
Fターム (24件)：
3C047EE11 ,  3C047EE18 ,  3C047EE19 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA02 ,  3C063BB02 ,  3C063BB07 ,  3C063BB20 ,  3C063BB24 ,  3C063BC02 ,  3C063BG07 ,  3C063CC12 ,  3C063EE40 ,  3C063FF08 ,  3C063FF22 ,  3C063FF23
引用特許：
審査官引用 (3件)

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