特許
J-GLOBAL ID：200903093808928780
CMPパッドコンディショニングディスク及びコンディショナ、そのディスクの製造方法、再生方法及び洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-330790
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300601
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドのコンディショニング効果を向上させるCMPパッドコンディショニングディスク及びコンディショナ、そのディスクの製造方法、再生方法及び洗浄方法を提供する。【解決手段】 ディスク胴体31の表面上に研磨グレーンの大きさ別に区分される領域が画設されてなされる。ディスクの胴体31に接着膜を所定の厚さで交わして反復遂行して形成する。また、既に使用したコンディショニングディスク30の胴体31から研磨グレーンを脱離してから、前記製造方法を遂行することである。本発明によるコンディショニングディスク30の洗浄方法は既に使用したコンディショニングディス30を弗化水素またはBOE溶液に浸漬して膜質副産物を除去して洗浄する。従って、研磨パッドのコンディショニング能力と寿命が向上されてコストを節減させうる。
請求項（抜粋）：
コンディショニングディスク胴体の表面上に研磨グレーンの大きさ別に区分される領域が画設されていることを特徴とするCMPパッドコンディショニングディスク。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 622
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 622 M
