特許

J-GLOBAL ID：200903035047085580

マイクロリアクターチップの作製方法

発明者： 高木 誠一 ,  太田 哲生
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-035468
公開番号（公開出願番号）：特開2005-224688
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】 接着剤を用いずに、対向する基板の少なくとも一方の基板の対向面に微小な流路が形成された複数の基板を接合させるマイクロリアクターチップの作製方法であって、特に問題となる流路脇の接合界面に気泡が入らず均一に接合でき、流体の漏れなどが発生しないだけでなく、接合時に流路の内径変化、形状変化がなく、さらに、最終的なマイクロリアクターチップが薄い場合でも、前記接合不良の問題がなく、反りなどが発生しないマイクロリアクターチップ作製方法を提供する。【解決手段】 対向する基板の少なくとも一方の基板の対向面に微小な流路が形成された複数の基板を、該微小な流路が形成された面と対向する基板の対向面とが接合面となるようにして接合させるマイクロリアクターチップの作製方法であって、少なくとも前記微小な流路が形成された面における接合させようとする部分に微小突起を設け、該微小突起と対向する基板の対向面とを密着させ、該微小突起に超音波を照射することにより接合面を接合させることを特徴とするマイクロリアクターチップの作製方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

対向する基板の少なくとも一方の基板の対向面に微小な流路が形成された複数の基板を、該微小な流路が形成された面と対向する基板の対向面とが接合面となるようにして接合させるマイクロリアクターチップの作製方法であって、 少なくとも前記微小な流路が形成された面における接合させようとする部分に微小突起を設け、該微小突起と対向する基板の対向面とを密着させ、該微小突起に超音波を照射することにより接合面を接合させることを特徴とするマイクロリアクターチップの作製方法。

IPC (2件)：

B01J19/00 ,  B01J19/10

FI (2件)：

B01J19/00 321 ,  B01J19/10

Fターム (12件)：

4G075AA39 ,  4G075AA65 ,  4G075CA23 ,  4G075EE03 ,  4G075EE12 ,  4G075FA01 ,  4G075FA05 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12 ,  4G075FC13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• マイクロケミカルデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-056437   出願人：財団法人川村理化学研究所
• 微小ケミカルデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-056436   出願人：財団法人川村理化学研究所