特許

J-GLOBAL ID：200903035057966924

プローブ評価方法

発明者： 廣瀬 琴子 ,  川崎 猛 ,  依田 晴夫 ,  中野 朝則
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-343701
公開番号（公開出願番号）：特開2008-159286
出願日： 2006年12月21日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】 本発明は収差補正器を備えた走査電子顕微鏡に関し、使用条件やノイズの影響を受けることなく、安定的にプローブ画像を得ることを目的としている【解決手段】 ジャストフォーカス状態で撮影した画像とデフォーカス状態で撮影した画像を画像データとしてコンピュータに入力し(ステップ1)、入力データサイズと出力データサイズから相関窓画像のサイズを自動で決定して相関窓を作成し(ステップ2,3)、相関窓と参照領域の相互相関演算を行い(ステップ6)、参照領域をずらしながらこの演算を繰り返す(ステップ7〜10)ことで相互相関行列を得ることで(ステップ11)プローブ画像を得る。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

収差補正された収束荷電粒子線を試料に照射して、発生する二次粒子を検出して二次粒子信号として出力する荷電粒子線鏡筒を備えた荷電粒子線装置において、 前記二次粒子信号を信号処理して前記二次粒子に対応する画素信号の二次元分布データを形成する二次元分布データ形成手段と、 ジャストフォーカス状態での当該二次元分布データとデフォーカス状態での二次元分布データとの相互相関演算により、デフォーカス状態における前記収束荷電粒子線の輝度分布を算出するプローブ形状抽出手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子装置。

IPC (4件)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/22

FI (4件)：

H01J37/153 B ,  H01J37/28 B ,  H01J37/04 A ,  H01J37/22 502H

Fターム (3件)：

5C030AA04 ,  5C033JJ07 ,  5C033UU05

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 幾何光学収差を決定する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-555115   出願人：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー, 日本電子株式会社
• 収差自動補正方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-419858   出願人：日本電子株式会社
• SEMの収差自動補正方法及び収差視覚化方法並びに収差自動補正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-113001   出願人：日本電子株式会社