特許
J-GLOBAL ID：200903043108722564
収差自動補正方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-419858
公開番号（公開出願番号）：特開2005-183086
出願日： 2003年12月17日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 本発明は収差自動補正方法及び装置に関し、オペレータが複雑な収差補正の手順を意識することなく、簡単に自動補正することができる収差自動補正方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】 デフォーカスしたプローブ形状からラインプロファイルを抽出するラインプロファイル抽出手段と、該ラインプロファイル抽出手段で抽出したラインプロファイルからラインプロファイルの特徴を表すパラメータμ,σ,ρを算出するラインプロファイル特徴量抽出器29と、該ラインプロファイル特徴量抽出器29の出力を受けて、各収差を表すパラメータCiを算出する収差算出器30と、該収差算出器30の出力Ciに基づいて収差が所定量になったかどうかを判定する収差補正判断器31と、該収差補正判断器31の出力を基に収差補正器に加えるべきフィードバック量を算出するフィードバック量設定器32とを具備して構成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
デフォーカスしたプローブ形状からラインプロファイルを抽出し(ステップ1)、
抽出したプロファイルからラインプロファイルの特徴を表す左右非対称性、幅、中心付近の凹凸を表すパラメータμ,σ,ρを算出し(ステップ2)、
ステップ2で求まった特徴量μ,σ,ρから各収差を表すパラメータCi(iは整数)を算出し(ステップ3)、
パラメータCiに基づいて収差が所定の閾値よりも小さくなったかどうかを判定し(ステップ4)、
ステップ3で求めた収差を表すパラメータCiのうち、ステップ4の収差補正判断で指定された収差を補正するために収差補正器に加えるべきフィードバック量を算出する(ステップ5)、
ことを特徴とする収差自動補正方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01J37/153 B
, H01J37/153 A
5C033HH02
, 5C033HH03
, 5C033HH05
, 5C033HH06
, 5C033JJ01
, 5C033JJ02
出願人引用 (1件)
-
幾何光学収差を決定する方法
公報種別：公表公報
出願番号：特願2001-555115
出願人：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー, 日本電子株式会社
審査官引用 (7件)
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