特許
J-GLOBAL ID：200903035084563122

酸化チタン膜及び光触媒膜並びにその作製方法

発明者：
吉川 雅人

吉川 雅人 について

, 
野口 智子

野口 智子 について


出願人/特許権者：
株式会社ブリヂストン

株式会社ブリヂストン について


代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-213545
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130434
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【解決手段】 酸素分子を有するガスを含有する不活性ガス中でチタンターゲットを用いてリアクティブスパッタリングを行うことにより、基板上に酸化チタン膜を形成するに当り、上記スパッタリングを、互いに対向するターゲット間のスパッタ空間の側方に基板を配置し、該基板上にスパッタ膜を形成する対向ターゲット式スパッタリング法にて行うと共に、不活性ガスと酸素分子を有するガスからの酸素ガスとの比率を容積比で2:1〜1:3として、主としてアナターゼ型柱状結晶の集合体からなる酸化チタン膜を得る。【効果】 本発明の酸化チタン膜は、高い光触媒活性を有しており、また本発明の酸化チタン膜の作製方法によれば、高い触媒活性を有する酸化チタン光触媒膜を容易に作製することができる。
請求項（抜粋）：
主としてアナターゼ型柱状結晶の集合体からなる酸化チタン膜。
IPC (6件)：
C01G 23/04 ,  B01J 21/06 ,  B01J 35/02 ,  B01J 37/02 301 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34
FI (8件)：
C01G 23/04 C ,  B01J 21/06 M ,  B01J 35/02 J ,  B01J 37/02 301 P ,  C23C 14/08 E ,  C23C 14/34 N ,  C23C 14/34 D ,  C23C 14/34 M
引用特許：
審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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