特許

J-GLOBAL ID：200903035103360424

搬送台車の真空室内走行制御方法

発明者： 藤山 泰三 ,  宮園 直之 ,  上野 茂一 ,  笹川 英四郎
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022251
公開番号（公開出願番号）：特開2003-221116
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：

【要約】【課題】 真空処理室内で台車の速度を落とすことなく、かつ基板に致命的な振動や衝撃を与えることなく、基板を迅速かつ円滑に搬送することができる高スループットの搬送台車の真空室内走行制御方法を提供する。【解決手段】 軌条に沿って所定の間隔をおいて配置された複数のピニオンを搬送台車のラックに噛み込ませて駆動力を伝達し、該搬送台車に保持された基板を複数の真空処理室に搬送する搬送台車の真空室内走行制御方法において、先行のピニオンがラックに噛み合って駆動力が搬送台車に伝達されている状態で、後続のピニオンがラックに噛み合う直前のタイミングにおいて後続のサーボモータを低トルクで起動させておき、後続のピニオンが前記ラックに噛み合った瞬間のタイミングで先行のサーボモータの駆動を高トルクから低トルクに切り替えると同時に、後続のサーボモータの駆動を低トルクから高トルクに切り替える。

請求項（抜粋）：

軌条に沿って所定の間隔をおいて配置された複数のピニオンを搬送台車のラックに噛み込ませて駆動力を伝達し、該搬送台車に保持された基板を複数の真空処理室に搬送する搬送台車の真空室内走行制御方法において、(a)先行のピニオンが前記ラックに噛み合って駆動力が搬送台車に伝達されている状態で、後続のピニオンが前記ラックに噛み合う直前のタイミングにおいて後続のサーボモータを低トルクで起動させておき、(b)前記後続のピニオンが前記ラックに噛み合った瞬間のタイミングで前記先行のサーボモータの駆動を高トルクから低トルクに切り替えると同時に、前記後続のサーボモータの駆動を低トルクから高トルクに切り替えることを特徴とする搬送台車の真空室内走行制御方法。

IPC (4件)：

B65G 49/06 ,  B61B 13/02 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/06 Z ,  B61B 13/02 Z ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/68 A

Fターム (27件)：

4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030GA12 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031GA54 ,  5F031GA58 ,  5F031GA59 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031JA45 ,  5F031LA08 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-102509   出願人：三菱重工業株式会社
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-319549   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開平4-212139
  
• 特開平3-079765