特許
J-GLOBAL ID:200903035143550579
ワークの処理方法及びその処理装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山本 晃司
, 星野 哲郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-234645
公開番号(公開出願番号):特開2004-079614
出願日: 2002年08月12日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】大型のガラス基板のような破損し易いワークであっても効率よく処理することができるワークの処理方法を提供する。【解決手段】搬送装置3によって搬送される複数の矩形平板状のワーク2に対して所定の処理を行うための処理方法において、搬送装置3の搬送経路外に処理を行う作業装置4を複数配置する。搬送装置3から複数のワーク2を順次取り出して作業待ちの状態にある作業装置4に受け渡す。作業が完了した作業装置4から搬送装置3へワーク2を戻す。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
搬送装置によって搬送される複数の矩形平板状のワークに対して所定の処理を行うための処理方法であって、
前記搬送装置の搬送経路外に前記処理を行う作業装置を複数配置し、
前記搬送装置から前記複数のワークを順次取り出して作業待ちの状態にある作業装置に受け渡し、前記作業が完了した作業装置から前記搬送装置へ前記ワークを戻すことを特徴とするワークの処理方法。
IPC (5件):
H01L21/68
, B65G49/06
, G02F1/13
, G02F1/1333
, G02F1/1335
FI (5件):
H01L21/68 A
, B65G49/06 Z
, G02F1/13 101
, G02F1/1333 500
, G02F1/1335 505
Fターム (35件):
2H088FA17
, 2H088FA21
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088HA12
, 2H088MA20
, 2H090HC05
, 2H090HC18
, 2H090JB02
, 2H091FA02Y
, 2H091FC10
, 2H091FC24
, 2H091FC29
, 2H091GA01
, 2H091LA30
, 5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA14
, 5F031GA02
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031GA53
, 5F031GA55
, 5F031HA33
, 5F031MA04
, 5F031MA23
, 5F031MA24
, 5F031MA27
, 5F031PA02
, 5F031PA06
, 5F031PA16
, 5F031PA18
引用特許:
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