特許
J-GLOBAL ID：200903035190793358
導電性ボールの移載装置および移載方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-243816
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087393
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 ピックアップミスにより吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 ボール供給部10から導電性ボール7を真空吸着してピックアップした吸着ヘッド31がワークの位置決めテーブル2に移動する経路に、余分に付着した導電性ボール7を除去する除去部40を設ける。吸引孔42aが設けられた吸引器42上に吸着ヘッド31を下降させて吸着ヘッド31を吸引器42に対して所定間隔を保ちながら吸引孔42aより真空吸引し、吸引により発生した流体力で吸着ヘッド31の下面に余分に付着した導電性ボール7を吸引器42内に回収する。これにより、速やかに余分に付着した導電性ボール7を除去することができる。
請求項（抜粋）：
下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボールを除去する除去部とを備え、この除去部に空気の吸引によって発生する流体力によって吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去する吸引器を設けたことを特徴とする導電性ボールの移載装置。
IPC (4件)：
H01L 21/60
, H01L 21/60 311
, B23P 21/00 305
, H01L 23/12
H01L 21/92 604 Z
, H01L 21/60 311 S
, B23P 21/00 305 B
, H01L 21/92 604 H
, H01L 23/12 L
