特許
J-GLOBAL ID：200903040677495674
不良バンプの検出方法およびリペア方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210281
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064046
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【目的】 ワークの電極上に形成されたバンプが正常であるか否かを自動判定し、不良バンプの場合にはリペア作業を行える不良バンプの検出方法およびリペア方法を提供することを目的とする。【構成】 ワーク1の電極2上のバンプ3a〜3dの高さを発光素子13と受光素子14を用いて測定し、適正高さ範囲Hであるかを制御部15で判定する。またカメラ11でワーク1を観察して輝度の画像により電極2から大きく位置ずれしたバンプ3dを検出する。検出された不良バンプ3b〜3dはヒータ40で加熱溶融させてノズルにより吸引除去する。次に不良バンプ3b〜3cが吸引除去された電極2上に半田ボールを搭載し、これを加熱溶融させることにより電極2上に新たなバンプ3b’,3c’,3d’を形成する。
請求項（抜粋）：
ワークの電極に形成されたバンプの高さを高さ検出手段により検出し、検出された高さを予め設定された適正高さと比較して不良バンプを検出することを特徴とする不良バンプの検出方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/92 604 T
, H01L 21/66 P
, H01L 21/66 J
, H01L 21/92 604 H
