特許

J-GLOBAL ID：200903035377083672

ZnO系焼結体

発明者： 高梨 昌二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-062778
公開番号（公開出願番号）：特開平11-256321
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 透過率が高くて抵抗値が低く、DCスパッタリング中の異常放電の発生が長期にわたって少なく、特性の優れた膜を効率よく成膜することが可能であり、かつ、生産性に優れていて安価なスパッタリングターゲット用ZnO系焼結体を提供する。【課題を解決するための手段】Inを3〜6原子%、そして、Al、B、Ga、Ge、Si、SnおよびTiからなる群より選ばれた1種以上の第3元素を0.3〜3原子%含有し、実質的に亜鉛とインジウムと前記第3元素の複合酸化物からなる。このZnO系焼結体は、焼結密度が4.8g/cm3 以上であり、かつ、前記複合酸化物の結晶平均粒径が4〜15μmであることが好ましい。

請求項（抜粋）：

Inを3〜6原子%、および、Al、B、Ga、Ge、Si、SnおよびTiからなる群より選ばれた1種以上の第3元素を0.3〜3原子%含有し、実質的に亜鉛とインジウムと前記第3元素の複合酸化物からなることを特徴とするZnO系焼結体。

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ZnO系焼結体およびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-337256   出願人：住友金属鉱山株式会社
• ZnO系焼結体およびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-038706   出願人：住友金属鉱山株式会社
• ZnO系焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-062777   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 特開平4-104937
  
• 特開昭61-263008