特許
J-GLOBAL ID：200903035377289637
ブレード変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-308664
公開番号（公開出願番号）：特開平8-164515
出願日： 1994年12月13日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 ブレード変位の検出時間を短縮することができ、かつ、ブレード変位の検出工程の安定化を図る。【構成】 光学系54で集光された光79を撮像するイメージセンサ56を備え、イメージセンサ56が撮像した光像をデータ処理手段58でデータ処理する。これにより、データ処理手段58はサンプリングエリア80内に配されたブレード81の変位を表す変位データを求める。また、ブレード変位算出手段62はデータ処理手段58で求めた変位データに基づいてサンプリングエリア80内に配されたブレード81の変位を求める。このように、イメージセンサ56を使用することにより、サンプリングエリア80内の所定位置にブレード81を配するだけでブレード81の変位を求めることができる。
請求項（抜粋）：
所定間隔をおいて対向して設けられ、投光手段から投光された光を一方の光学系で集光して前記所定間隔内にサンプリングエリアを形成し、該サンプリングエリアを形成した後拡散した光を他方の光学系で集光する一対の光学系と、前記サンプリングエリアに沿って移動して前記サンプリングエリアを形成する光を遮光する回転刃と、前記他方の光学系で集光された光を撮像するイメージセンサと、前記イメージセンサが撮像した光像をデータ処理して、前記サンプリングエリア内に配された前記回転刃の変位を示す変位データを求めるデータ処理手段と、前記データ処理手段で求めた変位データに基づいて前記サンプリングエリア内に配された前記回転刃の変位を求めるブレード変位算出手段と、を備えたことを特徴とするブレード変位検出装置。
IPC (4件)：
B28D 5/02
, B23Q 17/24
, B24B 27/06
, H01L 21/301
