特許

J-GLOBAL ID：200903035396796558

基板搬送装置

発明者： 小山 康文
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269522
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106048
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】 オペレータの危険を防止しつつも搬送効率を向上させることができる。【解決手段】 複数枚の基板Wを積層収納するカセットCをカセット載置台11に載置し、カセットCに収納された基板Wの位置を基板検出機構20により検出し、カセット載置台11の一方側から基板搬送機構20を進退させて基板を搬送する基板搬送装置において、カセット載置台11にカセットCを載置したり、カセット載置台11のカセットCを取り外す際には、カセット載置台11の一方側を遮断し、載置されたカセットCに対して基板検出機構20が基板の検出動作を開始した後は、カセット載置台11の一方側を開放して基板搬送機構20の進退を許容するように昇降する第1の危険防止板31を備える。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を積層収納するカセットをカセット載置台に載置し、前記カセットに収納された基板の位置を基板検出手段によって検出し、前記カセット載置台の一方側から基板搬送手段を進退させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記カセット載置台にカセットを載置したり、前記カセット載置台のカセットを取り外す際には、前記カセット載置台の一方側を遮断し、載置されたカセットに対して基板検出手段が基板の検出動作を開始した後は、前記カセット載置台の一方側を開放して前記基板搬送手段の進退を許容するように昇降する第1の危険防止板を備えていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• カセットステーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-286298   出願人：石川島播磨重工業株式会社, 石川島システムテクノロジー株式会社
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-311510   出願人：国際電気株式会社
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-311509   出願人：国際電気株式会社