特許
J-GLOBAL ID：200903035407222060
静電浮上チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314516
公開番号（公開出願番号）：特開平10-164877
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 絶縁体基板の周縁部に被固定物の外周部を支持する当接部材を設けることにより、強力な保持力と正確な位置決めができるとともに、摩耗粉(パーティクル)の発生が極めて少ない静電浮上チャックを提供する。【解決手段】 絶縁体基板102に被固定物10を静電吸着力により吸引する吸引電極103a,103b,103c,103d,103e,103fと、前記被固定物10を所定位置に保持する当接部材104a,104b,104cを備えてなり、前記被固定物10を吸引電極103a,103b,103c,103d,103e,103fによる静電吸着力でもって引き寄せて被固定物10の外周部を前記当接部材104a,104b,104cに衝止させることにより保持する。
請求項（抜粋）：
絶縁体基板に被固定物を静電吸着力により吸引する吸引電極と、前記被固定物を所定位置に保持する当接部材を備えてなり、前記被固定物を吸引電極による静電吸着力でもって引き寄せて被固定物の外周部を前記当接部材に衝止させることにより保持するようにしたことを特徴とする静電浮上チャック。
引用特許：
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