特許
J-GLOBAL ID：200903035417617764
硬質炭素膜及び硬質炭素膜被覆部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061120
公開番号（公開出願番号）：特開平8-259391
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：
【要約】【構成】ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドのピークの強度について、f=(p-p0 )/(1-p0 )(ただし、pは配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和)とし、p0 は未配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和)と定めたときの各ピークにおけるfをf(hkl)で表したときに、f(111)≦-0.1、0.2≦f(220)≦0.9、|f(311)+f(400)+f(331)|≦0.1である。【効果】高い結晶性を有するダイヤモンドの結晶粒子を高い核生成密度で一定方向に配向させながら成長させているため、膜の表面が非常に平滑で、高耐摩耗摺動性、高熱伝導率、高光透過率を具備した硬質炭素膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドのピークの強度について、f=(p-p0 )/(1-p0 )(ただし、pは配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和)とし、p0 は未配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和))と定めたときの各ピークにおけるfをf(hkl)で表したときに、f(111)≦-0.10.2≦f(220)≦0.9|f(311)+f(400)+f(331)|≦0.1を満足することを特徴とする硬質炭素膜。
IPC (5件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, G01N 23/20
, B23B 27/14
C30B 29/04 X
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, G01N 23/20
, B23B 27/14 A
