特許
J-GLOBAL ID：200903035421830642

荷電粒子線装置

発明者：
青 木 進

青 木 進 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-283473
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093358
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 ライナーチューブなどの加工誤差を気にせずに、再現性良くライナーチューブと真空容器間を真空シールできる荷電粒子線装置を提供すること。【解決手段】 金属Oリング25(第1の金属Oリング)による真空シール作業に続いて、金属Oリング28(第2の金属Oリング)が、ライナーチューブ23の試料室側端部外側に嵌め込められる。次に、テーパ部Tを有するワッシャ29がライナーチューブ23の外側に嵌め込まれ、そして、ナット30がライナーチューブ23にねじ込まれる。すると、ワッシャ29にテーパ部Tがあるため、金属Oリング28はこのテーパ部Tによって、対物レンズ外側ヨーク部27の端部に押さえ付けられると共に、ライナーチューブ23の外周面に押さえ付けられる。この結果、ライナーチューブ23の外周面と外側ヨーク部27の隙間Δ’は、金属Oリング28によって完全にシールされる。
請求項（抜粋）：
排気される第1の真空容器と、排気される第2の真空容器と、前記第1の真空容器と第2の真空容器を連通させるチューブと、そのチューブと前記第1の真空容器の間を真空シールする第1の金属Oリングと、前記チューブと前記第2の真空容器の間を真空シールする第2の金属Oリングを備え、前記2つの金属Oリングのうちの一方、もしくは両方が前記チューブの外側に嵌め込められていて、その嵌め込められた金属Oリングによって、前記チューブの外周面と真空容器の間が真空シールされることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/18 ,  H01J 37/28
FI (2件)：
H01J 37/18 ,  H01J 37/28 B
Fターム (2件)：
5C033KK07 ,  5C033UU02
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特開平3-022339
  • 荷電粒子線照射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-156020   出願人：株式会社ビームテック
  • Oリングフレア式管継手
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-248224   出願人：臼井国際産業株式会社

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