特許

J-GLOBAL ID：200903035423118150

高周波接点シート及び高周波接点シート製造方法

発明者： 古田土 節夫 ,  鈴木 文和 ,  神谷 正 ,  津金 浩典 ,  早川 聡
出願人/特許権者： アンリツ株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-189703
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005991
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】超高周波のIC素子における信号の漏洩やパッド間での相互干渉を防止し、信号の高精度な伝達を実現する。【解決手段】板状のレジスト膜12に光を照射してレジスト膜12の表面とほぼ垂直な軸を有する少なくとも一つの同軸空間12aを形成し、レジスト膜12に形成された少なくとも一つの同軸空間12aに導電材を充填し、レジスト膜12を除去して形成した少なくとも一つの同軸線路7と、少なくとも一つの同軸線路7の端部が表面に位置するように絶縁材を形成したシート6とを具備した高周波接点シート5。

請求項（抜粋）：

絶縁性のシート(6)と、前記シートの表面とほぼ垂直な軸を持ち、前記シートの一方の表面から他方の表面に信号を伝達する少なくとも一つの同軸線路(7)とを具備したことを特徴とする高周波接点シート。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  H01R 11/01 501

FI (3件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 A ,  H01R 11/01 501 G

Fターム (10件)：

2G003AA07 ,  2G003AG07 ,  2G003AH05 ,  2G011AA16 ,  2G011AA22 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC32 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-120537
  
• 検査治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-296536   出願人：凸版印刷株式会社
• プローブユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-357541   出願人：株式会社双晶テック