特許
J-GLOBAL ID：200903035425647729

ウエットエッチング終点検出装置

発明者：
高橋 輝雄

高橋 輝雄 について

, 
高橋 秀典

高橋 秀典 について

, 
渡邉 元之

渡邉 元之 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012052
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212773
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：
【要約】【課題】 正確なウエットエッチングの終了時点を検出することができるウエットエッチング終点検出装置を提供する。【解決手段】 本装置は、光検出素子2から出力される波長分布スペクトルの変化からウエットエッチングの終了時点を検出する。この装置においては、回転テーブルRが整数回回転すると共に該回転に同期して光検出素子の所定領域からの信号読み出しが整数回行われるトリガ信号を、それぞれモータ駆動回路5及び光検出素子駆動回路3に与えることにより、回転テーブルRの回転の揺らぎに起因して、光検出素子2から最終的に得られるデータのばらつきを抑制し、正確なウエットエッチングの終了時点を検出する。
請求項（抜粋）：
ウエットエッチングされるウエハにビームを照射する光源と、前記ウエハからの反射光を分光する分光器と、前記分光器から波長毎に分布して出力される波長分布スペクトルを所定領域で検出するCCD又はMOS型光センサからなる光検出素子と、前記光検出素子を駆動する光検出素子駆動回路と、前記ウエハの配置される回転テーブルを回転させるモータと、前記モータを駆動するモータ駆動回路と、前記光検出素子から出力される前記波長分布スペクトルの変化からウエットエッチングの終了時点を検出する制御手段とを備えたウエットエッチング終点検出装置において、前記回転テーブルが整数回回転すると共に該回転に同期して前記光検出素子の前記所定領域からの信号読み出しが整数回行われるトリガ信号を、それぞれ前記モータ駆動回路及び前記光検出素子駆動回路に与えるトリガ信号発生手段を備えることを特徴とするウエットエッチング終点検出装置。
IPC (3件)：
C23F 1/08 ,  B05C 11/00 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
C23F 1/08 ,  B05C 11/00 ,  H01L 21/306 U
Fターム (19件)：
4F042AA07 ,  4F042BA01 ,  4F042BA05 ,  4F042BA22 ,  4F042ED00 ,  4K057WA14 ,  4K057WB05 ,  4K057WB06 ,  4K057WJ10 ,  4K057WM18 ,  4K057WN01 ,  5F043AA24 ,  5F043AA31 ,  5F043BB16 ,  5F043BB22 ,  5F043DD25 ,  5F043EE27 ,  5F043EE36 ,  5F043GG02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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