特許
J-GLOBAL ID：200903035436972419
蛍光X線三次元分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-216204
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033207
出願日： 2005年07月26日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 高い三次元位置分解能で高精度の蛍光X線三次元分析を可能とする蛍光X線三次元分析装置を提供する。【解決手段】 試料を載置するための移動ステージと、X線源及び前記X線源から照射されるX線を試料内部において集光点に集光する照射側集光光学部とを有するX線照射集光手段と、移動ステージに載置される試料から発生する蛍光X線を集光する検出側集光光学部及び検出側集光光学部により集光される蛍光X線を受けてその検出を行う検出器とを有する蛍光X線検出手段と、移動ステージを三次元に移動させる駆動手段と、検出側集光光学部の焦点と、照射側集光光学部の集光点とを試料内部において一致させる調整手段とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料を載置するための移動ステージと、
X線源及び前記X線源から照射されるX線を前記試料内部において集光点に集光する照射側集光光学部とを有するX線照射集光手段と、
前記移動ステージに載置される前記試料から発生する蛍光X線を集光する検出側集光光学部及び前記検出側集光光学部により集光される蛍光X線を受けてその検出を行う検出器とを有する蛍光X線検出手段と、
前記移動ステージを三次元に移動させる駆動手段と、
前記検出側集光光学部の焦点と、前記照射側集光光学部の前記集光点とを前記試料内部において一致させる調整手段とを備える蛍光X線三次元分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001GA01
, 2G001GA08
, 2G001KA01
, 2G001KA12
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 2G001PA14
