蛍光X線分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩野入章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-155674
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344318
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】蛍光X線分析装置において、照射源や検出器等の分析機構と試料との衝突を簡易に防止すること。【解決手段】試料Sが分析機構に衝突する前に、試料Sが照射室に接近したことを検出する接触センサを設けることにより、分析機構や照射室と試料との衝突を防止するものであり、試料から蛍光X線を発生させる照射源(X線源2)、及びこの蛍光X線を検出する検出器6を有する照射室(X線照射室7)と、照射室(X線照射室7)の下方に間隔をあけて対向配置する試料ステージ8とを有する蛍光X線分析装置において、照射室(X線照射室7)と試料ステージ8との間に、少なくとも照射室(X線照射室7)が試料ステージ8と対向する面を覆うカバー部材9を備え、このカバー部材は試料との接触を検出する電気的スイッチ機構を構成する。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射する照射源、及び試料から発生するX線を検出する検出器を有する照射室と、前記照射室の下方に間隔をあけて対向配置する試料ステージとを有する蛍光X線分析装置において、前記照射室と前記試料ステージとの間に、少なくとも照射室が試料ステージと対向する面を覆うカバー部材を備え、前記カバー部材は、試料との接触を検出する電気的スイッチ機構の一端を構成することを特徴とする、蛍光X線分析装置。

Fターム (9件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001PA11 , 2G001PA14 , 2G001QA01 , 2G001SA15 , 2G001SA16 , 2G001SA30

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平3-021844
可搬型蛍光X線分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-108312 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開昭62-066215

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