特許
J-GLOBAL ID：200903035499231702

基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム

発明者：
椋田 修央

椋田 修央 について

, 
河合 淳

河合 淳 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286310
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100576
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 消費材の使用予定を見越して容量リソースを使用することにより、最大消費量を超えないように制御しつつも効率的にリソースを利用することができる。【解決手段】 処理前に予め各リソースの使用タイミングを作成するが、その際には容量リソースの最大消費電力を、薬液処理部51、第3搬送機構15、第1副搬送機構25の消費電力の合計が超えないようにする。これによって最大消費電力を超えないように制御しながらも効率的に各リソースを使用することができる。その結果、基板処理装置のスループットを向上させることができる。
請求項（抜粋）：
基板に対して処理を施す複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら処理する際に各々のリソースを使用するタイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、実際に基板に対する処理を開始する前に各リソースの使用タイミングを予め作成するとともに、各リソースで使用する消費材について、最大消費量以内で使用可能なリソースとして容量リソースを定義し、各リソースを使用して基板に対する処理を行なう場合には、前記各リソースで使用される消費材の合計が前記容量リソースの最大消費量を超えることを回避して、前記各リソースを使用することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
IPC (3件)：
H01L 21/02 ,  B08B 3/04 ,  G05B 19/418
FI (3件)：
H01L 21/02 Z ,  B08B 3/04 B ,  G05B 19/418 Z
Fターム (13件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201BB03 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CC01 ,  3B201CC11 ,  3B201CD11 ,  3C100AA05 ,  3C100BB05 ,  3C100BB13 ,  3C100EE06
引用特許：
審査官引用 (3件)

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