特許
J-GLOBAL ID:200903035502761467
ガス・水蒸気バリア性フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-084615
公開番号(公開出願番号):特開2004-001442
出願日: 2003年03月26日
公開日(公表日): 2004年01月08日
要約:
【課題】従来よりも高いガス・水蒸気バリア性能を持ちかつ高い透明性を併せ持ち、表面平滑性にも優れたガス・水蒸気バリア性フィルムを提供する。【解決手段】高分子フィルムの少なくとも片面にスパッタ電力をより低くする事で表面平滑性が改良された無機物層を持つことを特徴とするガス・水蒸気バリア性フィルム。無機物層の表面粗さ算術平均値(Ra)がRa<10nm、最大高さ(Ry)がRy<0.3μmであり、且つ平均線からの深さが10nm以上で穴深さと穴直径のアスペクト比(穴深さ/穴直径)が0.2よりも大きい穴の無い、バリア性フィルムであり、20μm×20μm角の領域においてRa≦1nm、平均線から10nm以上の高さの突起が2個以下、平均線からの深さ10nm以上の穴が無い無機物層が最外層として積層されている。さらに、前記無機物層について、平均線からの高さ10nm以上の領域が20μm×20μmの領域について0.1%以下であることが望ましい。
請求項(抜粋):
樹脂基材上に、表面粗さ算術平均値(Ra)がRa<10nm、最大高さ(Ry)がRy<0.3μmであり、且つ平均線からの深さが10nm以上で穴深さと穴直径のアスペクト比(穴深さ/穴直径)が0.2よりも大きい穴の無い無機物層が最外層として積層されたことを特徴とするバリア性フィルム。
IPC (6件):
B32B9/00
, B32B27/00
, C23C14/06
, C23C14/08
, C23C14/20
, C23C14/34
FI (8件):
B32B9/00 A
, B32B27/00 A
, C23C14/06 A
, C23C14/06 G
, C23C14/06 P
, C23C14/08 N
, C23C14/20 A
, C23C14/34 N
Fターム (55件):
4F100AA01B
, 4F100AA05B
, 4F100AA12B
, 4F100AA13B
, 4F100AA17B
, 4F100AA18B
, 4F100AA20B
, 4F100AA21B
, 4F100AA25B
, 4F100AA28B
, 4F100AK01A
, 4F100AK01C
, 4F100AK03C
, 4F100AK24C
, 4F100AK53C
, 4F100AK54C
, 4F100AK55C
, 4F100AK80C
, 4F100AL08
, 4F100AR00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA10B
, 4F100EH66
, 4F100EH66B
, 4F100EJ24
, 4F100EJ43
, 4F100EJ54
, 4F100GB15
, 4F100GB27
, 4F100GB48
, 4F100JA05C
, 4F100JD02
, 4F100JD04
, 4F100JK14B
, 4F100JK15
, 4F100JN01
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA31
, 4K029BA41
, 4K029BA43
, 4K029BA44
, 4K029BA45
, 4K029BA46
, 4K029BA47
, 4K029BA48
, 4K029BA49
, 4K029BA58
, 4K029BA60
, 4K029BB02
, 4K029BC00
, 4K029BD00
引用特許:
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