特許
J-GLOBAL ID：200903035576990158

成膜用ノズルおよび成膜方法ならびに成膜部材

発明者：
福本 昌宏

福本 昌宏 について

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山田 基宏

山田 基宏 について

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寺田 紘樹

寺田 紘樹 について

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佐藤 憲徳

佐藤 憲徳 について

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山口 英二

山口 英二 について


出願人/特許権者：
新東ブレーター株式会社

新東ブレーター株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-297336
公開番号（公開出願番号）：特開2009-120913
出願日： 2007年11月15日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：
【課題】使用するガスの種類に拘わらず加工面に弧状衝撃波の発生を抑制し、成膜用の粉末粒子が微紛(平均粒子径1〜50μm)であっても各種粒子堆積成膜法において適切に被膜形成ができる成膜用ノズル、および該成膜用ノズルを用いた被膜形成方法、ならびにその被膜を形成した部材を提供する。【解決手段】成膜用ノズルの先端部に、粉末粒子と高圧ガスの混合気体を噴射する噴射口と、該噴射口の近傍に高圧ガスの一部のみを放出する開口部を設ける。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
高速ガスの流れに粉末粒子を混合して基材に噴射することによって皮膜を形成するための成膜用ノズルであって、ノズル先端部近傍にガス流の一部を放出するための開口部を設けたことを特徴とする成膜用ノズル。
IPC (3件)：
C23C 24/04 ,  C23C 4/12 ,  B05B 7/14
FI (3件)：
C23C24/04 ,  C23C4/12 ,  B05B7/14
Fターム (18件)：
4F033QA01 ,  4F033QB05 ,  4F033QD13 ,  4F033QH02 ,  4K031CB18 ,  4K031CB21 ,  4K031CB31 ,  4K031CB37 ,  4K031DA01 ,  4K031DA04 ,  4K031EA09 ,  4K044BA06 ,  4K044BA08 ,  4K044BA10 ,  4K044BB11 ,  4K044CA23 ,  4K044CA27 ,  4K044CA71
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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