特許
J-GLOBAL ID：200903035672240755
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-006324
公開番号（公開出願番号）：特開2009-255529
出願日： 2009年01月15日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】圧電素子の変位特性を向上し高速駆動を実現できると共に圧電体層の破壊を抑制して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータを提供する。【解決手段】圧電体層70の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成されており、各圧電素子300を構成する下電極60が圧力発生室12の幅よりも狭い幅で形成されていると共に圧電体層70が下電極60よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前記圧電体層によって覆われており、振動板50の最表層が酸化チタン(TiOx)からなる絶縁体膜52で構成され、下電極60の最表層がニッケル酸ランタン(LaNiyOx)からなる配向制御層62で構成され、且つ配向制御層62及び少なくとも配向制御層62上の圧電体層70aが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が(113)に優先配向している構成とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と
、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極か
らなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で
構成され、
各圧電素子を構成する前記下電極が前記圧力発生室の幅よりも狭い幅で形成されている
と共に前記圧電体層が前記下電極よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前記圧電
体層によって覆われており、
前記振動板の最表層が酸化チタン(TiOx)からなる絶縁体膜で構成され、前記下電
極の最表層がニッケル酸ランタン(LaNiyOx)からなる配向制御層で構成され、
且つ前記配向制御層及び少なくとも当該配向制御層上の前記圧電体層が、ペロブスカイ
ト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が(113)に優先配向していることを特徴とする
液体噴射ヘッド。
IPC (7件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
, H01L 41/24
, B05C 5/00
B41J3/04 103A
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
, B05C5/00 101
2C057AF01
, 2C057AF65
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP14
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4F041AA02
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA34
