特許

J-GLOBAL ID：200903035692990947

塗布装置及びその方法

発明者： 元田 公男 ,  立山 清久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242227
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083762
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 回転カップ内にスピンチャックを設け、スピンチャックを回転カップの底部にシール部を介して密着させて同じ速度で回転させ、スピンチャック上の被処理基板に塗布液をスピンコートするにあたり、回転軸に関連する構造を簡素化しかつシール部の擦れを防止すること【構成】 回転カップ2の蓋体21の中心部に塗布液と洗浄液とを供給するための二重管構造の管状体5を、蓋体21に対してベアリング50により回転自在に装着する。被処理体の塗布処理を所定枚数行った後管状体5より洗浄液を回転カップ2の内面に噴射しながら回転カップ2を回転させて洗浄を行う。回転カップ2の下方側に洗浄管状体を通す固定部を設けなくてよいので構造が簡単であり、回転カップ2とスピンチャック3とは常に同じ速度で回転するのでシール部が擦れない。

請求項（抜粋）：

回転容器と、この回転容器の中に位置し、昇降及び回転自在な回転載置台とを備え、回転載置台の上に被処理基板を載せて、被処理基板表面に塗布液を供給すると共に回転載置台と回転容器とを回転させ、これにより被処理基板上に塗布膜を形成する塗布装置において、前記回転容器の上面部に、回転容器の内面に洗浄液を吹き付けるための洗浄液供給部を設けたことを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  B05C 11/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-347362   出願人：株式会社東芝
• 回転カップ式塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-162901   出願人：東京応化工業株式会社