特許

J-GLOBAL ID：200903035740901439

研磨装置

発明者： 森川 要 ,  中田 弘 ,  西瀬 甲平
出願人/特許権者： アイエムティー株式会社
代理人 (1件)： 杉本 勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-351563
公開番号（公開出願番号）：特開2002-154041
出願日： 2000年11月17日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】【課題】研磨ヘッド7における研磨テープTへの研磨台1に固定された被研磨材Pの接触可能面積を広くして、研磨ヘッド7と被研磨材Pとの位置決めを簡単にできる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨テープTTが装着される研磨ヘッド本体2と、被研磨材Pが装着される研磨台1とを備え、研磨台1に設置した被研磨材Pの外周面部に研磨テープTを接触させて被研磨材Pを研磨する研磨装置であって、研磨ヘッド本体2が回転可能となっており、研磨ヘッド本体2は、研磨テープTを走行させる走行機構6と、研磨台1に設置された被研磨材Pに研磨テープTを押し付けるための研磨ヘッド7とを備え、研磨ヘッド7は、研磨ヘッド本体2の回転軸線aに対して直交する平面を備える押え付け面71を有し、押え付け面71に位置する研磨テープTを被研磨材Pに接触させる構成にした。

請求項（抜粋）：

研磨テープが装着される研磨ヘッド本体と、被研磨材が装着される研磨台とを備え、研磨台に設置した被研磨材の外周面部に研磨テープを接触させて被研磨材を研磨する研磨装置であって、研磨ヘッド本体が回転可能となっており、研磨ヘッド本体は、研磨テープを走行させる走行機構と、研磨台に設置された被研磨材に研磨テープを押し付けるための研磨ヘッドとを備え、研磨ヘッドは、研磨ヘッド本体の回転軸線に対して直交する平面を備える押え付け面を有し、押え付け面に位置する研磨テープを被研磨材に接触させるようにしていることを特徴とする研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 21/00 ,  B24B 21/10 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (4件)：

B24B 21/00 A ,  B24B 21/10 ,  H01L 21/304 621 E ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (10件)：

3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA13 ,  3C058AA14 ,  3C058AA16 ,  3C058AB04 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-196963
  
• 研磨テープによる研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-266101   出願人：日本ミクロコーティング株式会社
• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-285336   出願人：キヤノン株式会社
• 表面研磨加工方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-194830   出願人：株式会社サンシン