特許
J-GLOBAL ID：200903072078630465
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285336
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191542
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 研磨能力の高い研磨フィルムを短時間で交換して被研磨体の被研磨面を部分研磨する。【解決手段】 帯状研磨フィルム8を有し且つ被研磨面の口径よりも小径な研磨ヘッド4の研磨面を被研磨体1に当接して研磨する。
請求項（抜粋）：
研磨ヘッドと、被研磨体を保持するための被研磨体保持手段と、前記研磨ヘッドを自転させる駆動手段と、を有し、前記研磨ヘッドの面が前記被研磨体保持手段に対向して配置される研磨装置において、前記研磨ヘッドは、帯状研磨フィルムを前記面に供給する帯状研磨フィルム供給手段と、前記帯状研磨フィルムを前記面から回収する帯状研磨フィルム回収手段と、を有することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 621
, B24B 21/00
H01L 21/304 621 B
, B24B 21/00 A
