特許
J-GLOBAL ID:200903035743582997
印刷用硬化性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
吉武 賢次
, 中村 行孝
, 紺野 昭男
, 横田 修孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-222027
公開番号(公開出願番号):特開2008-045035
出願日: 2006年08月16日
公開日(公表日): 2008年02月28日
要約:
【課題】レジストパターンのエッチング耐性および剥離性を維持したうえで、塗布性を高めた印刷用硬化性樹脂組成物と、それを用いた十分に微細で、かつ良好な形状を有するパターンを転写する方法の提供。【解決手段】樹脂と、オキセタン化合物と、有機溶媒とを含んでなることを特徴とする、印刷用硬化性樹脂組成物と、それを用いて凸版反転印刷法によりレジストパターンを転写する方法。【選択図】なし
請求項(抜粋):
樹脂と、オキセタン化合物と、有機溶媒とを含んでなることを特徴とする、印刷用硬化性樹脂組成物。
IPC (9件):
C08L 101/00
, C09D 11/00
, H05K 3/06
, H01L 21/027
, B41M 1/02
, C08K 5/152
, C08L 1/00
, C08F 299/02
, G03F 7/34
FI (10件):
C08L101/00
, C09D11/00
, H05K3/06 F
, H01L21/30 502R
, H01L21/30 502D
, B41M1/02
, C08K5/1525
, C08L1/00
, C08F299/02
, G03F7/34
Fターム (72件):
2H096AA25
, 2H096AA27
, 2H096BA06
, 2H096CA13
, 2H096GA36
, 2H096GA60
, 2H096HA07
, 2H096LA30
, 2H113AA01
, 2H113AA03
, 2H113BA01
, 2H113BB09
, 2H113BB22
, 2H113BC09
, 2H113CA17
, 2H113DA25
, 2H113DA56
, 4J002AB012
, 4J002BG121
, 4J002BQ001
, 4J002CC041
, 4J002CF001
, 4J002CG001
, 4J002EL056
, 4J002FD206
, 4J002GP03
, 4J039AB02
, 4J039AE05
, 4J039EA40
, 4J039GA05
, 4J039GA17
, 4J127AA03
, 4J127AA06
, 4J127BB041
, 4J127BB131
, 4J127BB221
, 4J127BB281
, 4J127BB301
, 4J127BC031
, 4J127BC141
, 4J127BD201
, 4J127BE34Y
, 4J127BE341
, 4J127BE41Z
, 4J127BE411
, 4J127BF31Y
, 4J127BF311
, 4J127BG05Y
, 4J127BG051
, 4J127BG10Y
, 4J127BG101
, 4J127BG12Y
, 4J127BG121
, 4J127BG16Z
, 4J127BG161
, 4J127BG17Y
, 4J127BG17Z
, 4J127BG171
, 4J127CA01
, 4J127DA22
, 4J127DA38
, 4J127DA61
, 4J127FA17
, 5E339BD11
, 5E339BE12
, 5E339BE13
, 5E339CD01
, 5E339CE13
, 5E339CE18
, 5E339CG04
, 5E339EE03
, 5F046AA28
引用特許:
前のページに戻る