フィルタ

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-151474
公開番号（公開出願番号）：特開2007-324823
出願日： 2006年05月31日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】低損失で、ESD破壊に対する耐性の高いフィルタを提供すること。【解決手段】本発明は、基板と、基板上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられた圧電膜と、圧電膜を挟み前記下部電極と対向する部分を有するように圧電膜上に設けられた上部電極と、を有する複数の圧電薄膜共振器を具備し、複数の圧電薄膜共振器のうち一部(S11、S14、P11、P14)は、圧電膜の外周の少なくとも一部が上部電極と下部電極とが対向する領域の外周より外側に位置する第1共振器(41)であり、複数の圧電薄膜共振器のうち他の一部(S12、S13、P12、P13)は、圧電膜の外周の少なくとも一部が上部電極と下部電極とが対向する領域の外周と略一致または内側に位置する第2共振器(42)であることを特徴とするフィルタである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に設けられた下部電極と、該下部電極上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する部分を有するように前記圧電膜上に設けられた上部電極と、を有する複数の圧電薄膜共振器を具備し、前記複数の圧電薄膜共振器のうち一部は、前記圧電膜の外周の少なくとも一部が前記上部電極と前記下部電極とが対向する領域の外周より外側に位置する第1共振器であり、前記複数の圧電薄膜共振器のうち他の一部は、前記圧電膜の外周の少なくとも一部が前記上部電極と前記下部電極とが対向する領域の外周と略一致または内側に位置する第2共振器であることを特徴とするフィルタ。

IPC (5件)：

H03H 9/17 , H03H 9/54 , H03H 9/58 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (6件)：

H03H9/17 F , H03H9/54 Z , H03H9/58 A , H01L41/08 U , H01L41/08 J , H01L41/18 101Z

Fターム (13件)：

5J108AA01 , 5J108BB07 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE06 , 5J108EE13 , 5J108FF02 , 5J108FF04 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK03

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭60-189307号公報
圧電共振素子およびその製造方法ならびに電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-364781 出願人：ソニー株式会社
圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-313727 出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社

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審査官引用 (5件)

圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-313727 出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社
送受切換器およびRX帯域とTX帯域とを分離する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-552963 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
バルク弾性共振器周辺反射システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-390378 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク

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