圧電薄膜共振子およびフィルタならびにそれらの製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-162646
公開番号（公開出願番号）：特開2005-347898
出願日： 2004年05月31日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】機械的強度、実装性、信頼性、および生産性に優れ、かつ良好な圧電膜配向性を有する圧電薄膜共振子およびフィルタならびにそれらの製造方法を提供すること。【解決手段】上部電極45と下部電極43が対向する領域(メンブレン部46)の下部電極43の下側と基板41との間には、ドーム形状の膨らみを有する空隙42が形成されている。そして、この空隙42は基板41面上への投影形状が閉曲線からなる輪郭を有している。また、基板41には犠牲層をエッチングして空隙42を形成するために用いる犠牲層エッチング用のエッチング液導入孔47が設けられている。犠牲層48のエッチングは、下部電極43、圧電膜44および上部電極45からなる積層体(複合膜)の応力が圧縮応力となるように実行され、複合膜が膨れ上がり下部電極43と基板41との間にドーム形状の空隙42を形成することができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

素子基板の平坦主面上に下部電極と圧電膜と上部電極とが順次積層された複合膜を備え、前記圧電膜を挟む前記上部電極と前記下部電極との重なり領域であるメンブレン領域に対応する前記素子基板の領域には前記下部電極との間にドーム状の膨らみを有する空隙が設けられていることを特徴とする圧電薄膜共振子。

IPC (3件)：

H03H9/17 , H03H3/02 , H03H9/58

FI (4件)：

H03H9/17 F , H03H3/02 B , H03H3/02 E , H03H9/58 A

Fターム (8件)：

5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108FF03 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭60-189307号公報
音響共振器とその製作方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-154956 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー

審査官引用 (7件)

特開昭62-076913
薄膜バルク音響共振器装置、及びこれを製造するための改良された方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-052627 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-013984 出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社

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