特許
J-GLOBAL ID：200903055588663978
圧電薄膜共振器およびフィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-127017
公開番号（公開出願番号）：特開2007-300430
出願日： 2006年04月28日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】弾性波の横方向漏れを抑制し、低損失化することが可能な圧電薄膜共振子およびフィルタを提供すること。【解決手段】本発明は、基板(10)と、基板上に設けられた下部電極(12)と、下部電極上に設けられた圧電膜(14)と、圧電膜を挟み下部電極と対向する部分(22)を有するように圧電膜上に設けられた上部電極(16)と、を具備し、対向する部分における圧電膜の外周の少なくとも一部は、上部電極と下部電極とが対向する領域(R)の外周より内側に設けられていることを特徴とする圧電薄膜共振子およびフィルタである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に設けられた下部電極と、該下部電極上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する部分を有するように前記圧電膜上に設けられた上部電極と、を具備し、
前記対向する部分における前記圧電膜の外周の少なくとも一部は、前記上部電極と前記下部電極とが対向する領域の外周より内側に設けられていることを特徴とする圧電薄膜共振子。
IPC (5件)：
H03H 9/17
, H03H 9/58
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
H03H9/17 F
, H03H9/58 A
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101Z
5J108AA01
, 5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108FF01
, 5J108FF04
, 5J108FF05
, 5J108KK01
, 5J108KK02
, 5J108KK07
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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