特許
J-GLOBAL ID：200903035840708253

感光性樹脂積層体

発明者：
森 徹

森 徹 について

, 
足立 輝彦

足立 輝彦 について


出願人/特許権者：
旭化成工業株式会社

旭化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-019857
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356852
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】 CSPの製造に極めて好適な感光性樹脂積層体を提供する。【解決手段】 支持体と(1)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、かつ重量平均分子量が2万〜50万の重合体、(2)特定の重合性モノマー、及び(3)少なくとも1種のp-アミノフェニルケトンを含む感光性樹脂組成物層からなる感光性樹脂積層体を製造する。
請求項（抜粋）：
支持体と感光性樹脂層からなり、該感光性樹脂層が、(1)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、かつ重量平均分子量が2万〜50万の重合体:20〜90重量%、(2)少なくとも下記式(1)で示される化合物を含む、1種または2種以上の重合性モノマー:10〜60重量%、【化1】(ここで、Xは水素原子、メチル基または水酸基を表す。AはCH2CH(CH3)OおよびCH2CH2Oの共重合体残基を表し、nは0〜5の整数を表す。Rは水素原子またはメチル基を表す。)、及び(3)少なくとも1種のp-アミノフェニルケトン:0.001〜0.1重量%を含むことを特徴とする感光性樹脂積層体。
IPC (3件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 23/12
FI (3件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 23/12 L
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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