特許

J-GLOBAL ID：200903035856448480

気相成長装置

発明者： 金子 和昭
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-199708
公開番号（公開出願番号）：特開2009-038143
出願日： 2007年07月31日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：

【課題】生成物付着用部材から生成物の剥離を抑制することにより部品交換作業の頻度を低減し、生産性を向上することができる気相成長装置を提供すること。【解決手段】ガス供給口41およびガス排出口42を有する成長室10と、表面に所望の膜を成長させるための基板Sを設置する成長室10内に設けられた基板設置部13と、基板設置部13に設置した基板Sを加熱する成長室10内に設けられたヒータ12と、成長室10内にガス供給口41から原料ガスを供給するガス供給部と、成長室10内のガスをガス排出口42から外部に排出するガス排出部と、基板設置部13に設置した基板Sと対向するように成長室10内に着脱可能に設置される生成物付着用プレート50とを備え、プレート50は、基板Sの表面と対向する対向面51に、基板成膜時に対向面51に付着した生成物の剥離を抑制するための複数の溝状またはドット状凹部を有することを特徴とする気相成長装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ガス供給口およびガス排出口を有する成長室と、表面に所望の膜を成長させるための基板を設置する前記成長室内に設けられた基板設置部と、前記基板設置部に設置した基板を加熱する成長室内に設けられたヒータと、前記成長室内に前記ガス供給口から原料ガスを供給するガス供給部と、成長室内のガスを前記ガス排出口から外部に排出するガス排出部と、前記基板設置部に設置した基板と対向するように成長室内に着脱可能に設置される生成物付着用プレートとを備え、 前記プレートは、基板の表面と対向する対向面に、膜成長時に前記対向面に付着した生成物の剥離を抑制するための複数の溝状またはドット状凹部を有することを特徴とする気相成長装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44

FI (2件)：

H01L21/205 ,  C23C16/44 J

Fターム (27件)：

4K030AA06 ,  4K030AA08 ,  4K030AA11 ,  4K030BA02 ,  4K030BA08 ,  4K030BA11 ,  4K030BA25 ,  4K030BA35 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA04 ,  4K030EA06 ,  4K030FA10 ,  4K030GA02 ,  4K030KA02 ,  4K030KA08 ,  4K030KA26 ,  4K030KA43 ,  5F045AA04 ,  5F045AC01 ,  5F045AC07 ,  5F045BB08 ,  5F045BB15 ,  5F045DP15 ,  5F045DP27 ,  5F045EB06 ,  5F045EC05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 気相成長装置および気相成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-043907   出願人：富士通株式会社
• 気相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-033298   出願人：富士通株式会社