特許
J-GLOBAL ID：200903035889663220
電気泳動法を利用したカーボンナノチューブフィールドエミッタの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-239544
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110303
出願日： 2000年08月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 仕事関数及び動作電圧が低く、耐久性の向上によって動作寿命が延びるようなフィールドエミッタの製造方法を提供する。【解決手段】 基板11の表面にストライプ状の陰極12が形成され、陰極12上にホール13aを有する絶縁体層13が形成され、絶縁体層13上にホール13aに対応する開口部14aを有するようにゲート14が形成され、陰極12の表面にカーボンナノチューブ粉末25を付着して形成されたチップを備えるフィールドエミッタの製造方法として、(a)カーボンナノチューブ粉末を含む溶液が入った容器内に、電極板と陰極が形成されたフィールドエミッタ基板を配置する段階と、(b)電極板と陰極との間に所定のバイアス電圧を印加して陰極の表面に常温領域でカーボンナノチューブ粉末を付着させる段階と、(c)カーボンナノチューブ粉末が付着された基板を所定の温度で熱処理する段階からなる製造方法を構成した。
請求項（抜粋）：
基板表面にストライプ状の陰極が形成され、前記陰極上にホールを有する絶縁体層が形成され、前記絶縁体層上に前記絶縁体層のホールに対応する開口部を有するように金属ゲートが形成されたフィールドエミッタ基板上に、露出された前記陰極の表面にカーボンナノチューブで形成されたチップを備えるカーボンナノチューブフィールドエミッタを製造する方法において、下記段階(a)から段階(c)を含むことを特徴とする電気泳動法を利用したカーボンナノチューブフィールドエミッタの製造方法。(a)カーボンナノチューブ粉末を含む溶液が入った容器内に電極板と所定間隔を有するように前記陰極が形成された前記フィールドエミッタ基板を配置する段階。(b)前記電極板と前記陰極との間に所定のバイアス電圧を電源から印加して前記絶縁体層のホールを介して露出された前記陰極の表面に常温領域でカーボンナノチューブ粉末を付着させる段階。(c)前記カーボンナノチューブ粉末が付着された前記基板を前記容器から取り出して所定の温度で熱処理する段階。
IPC (5件)：
H01J 9/02
, B82B 3/00
, C25D 13/02
, C25D 13/10
, C25D 13/12
H01J 9/02 B
, B82B 3/00
, C25D 13/02 Z
, C25D 13/10 B
, C25D 13/12 Z
