粘着シート

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：松浦孝 , 小倉洋樹 , 野中剛 , 虎山滋郎 , 坪内伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-049739
公開番号（公開出願番号）：特開2008-214386
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

【課題】粘着力に優れ、ウエハ回路面等に対する凹凸追従性があって、研削時の研削水等のウエハ回路面への浸入を防止可能であり、なおかつ粘着剤残渣を生じさせない粘着シートを提供する。【解決手段】基材と、前記基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを備えた粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、(メタ)アクロイルモルホリンを1〜30重量%共重合してなり、かつ側鎖に不飽和基を有するエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、ウレタンアクリレートとを含むことを特徴とする粘着シート。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基材と、前記基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを備えた粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、 (メタ)アクリロイルモルホリンを1〜30重量%共重合してなり、かつ側鎖に不飽和基を有するエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、ウレタンアクリレートとを含むことを特徴とする粘着シート。

IPC (5件)：

C09J 7/02 , C09J 133/14 , C09J 175/16 , H01L 21/304 , C09J 4/00

FI (5件)：

C09J7/02 Z , C09J133/14 , C09J175/16 , H01L21/304 622J , C09J4/00

Fターム (32件)：

4J004AA10 , 4J004AA14 , 4J004AB01 , 4J004AB06 , 4J004AB07 , 4J004BA02 , 4J004CA03 , 4J004CA04 , 4J004CA05 , 4J004CA06 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004DA02 , 4J004DA03 , 4J004DB02 , 4J004EA06 , 4J004FA04 , 4J004FA08 , 4J040EF221 , 4J040FA231 , 4J040FA291 , 4J040GA01 , 4J040GA17 , 4J040JA09 , 4J040JB07 , 4J040JB08 , 4J040JB09 , 4J040MA02 , 4J040MA04 , 4J040MA10 , 4J040MA11 , 4J040NA20

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭60-189938号公報
ペレットの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-141237 出願人：株式会社東芝
ウエハ裏面研削時の表面保護シートおよびその利用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-231602 出願人：リンテック株式会社, 株式会社東芝

審査官引用 (1件)

ダイシング用粘着シート及びそれを用いた被加工物の加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-021027 出願人：日東電工株式会社

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