レジスト剥離剤

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399153
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202618
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、爆発の危険性の高いヒドロキシルアミンを含有せず、優れたレジスト剥離性、チタン酸化物剥離性を示すレジスト剥離剤を提供することにある。【解決手段】第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物からなるレジスト剥離剤を製造し、用いる。

請求項（抜粋）：

第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物からなることを特徴とするレジスト剥離剤。

IPC (2件)：

G03F 7/42 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/42 , H01L 21/30 572 B

Fターム (4件)：

2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096LA03 , 5F046MA02

引用特許：

出願人引用 (6件)

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審査官引用 (6件)

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