特許
J-GLOBAL ID：200903019497437260
洗浄液及び洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044084
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298589
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、洗浄処理が極めて短時間ですみ、しかも洗浄効果の高い洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 純水に塩基性水溶性フッ化物および酸化剤を混合した洗浄液により基体に付着している異物を除去することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
純水に塩基性水溶性フッ化物および酸化剤を混合したことを特徴とする洗浄液。
IPC (5件)：
C11D 7/10
, B08B 3/08
, C11D 7/18
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
C11D 7/10
, B08B 3/08 Z
, C11D 7/18
, H01L 21/304 341 L
, H01L 21/30 572 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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