特許
J-GLOBAL ID:200903035934001625
プラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鳴井 義夫
, 清水 猛
, 伊藤 穣
, 武井 英夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-233049
公開番号(公開出願番号):特開2006-054069
出願日: 2004年08月10日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
【課題】 現像が過剰になされた場合であっても、レジストパターンの密着性に優れる隔壁形成材料並びに該隔壁形成材料を用いてサンドブラスト処理を行うプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】 (1)ガラス基板の上に少なくともガラス粉末とエチレン性不飽和付加重合性モノマー(A)とを含有する隔壁形成材料層を形成する工程、(2)隔壁形成材料層の上に感光性樹脂層を形成する工程、(3)感光性樹脂層をパターンを有するマスクを通して露光する工程、(4)感光性樹脂層を現像する工程、(5)サンドブラスト処理によって硬化した感光性樹脂層で覆われていない隔壁形成材料層の少なくとも一部を除去する工程、(6)硬化した感光性樹脂層を剥離する工程を含み、プラズマディスプレイパネルの背面板を製造する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(1)ガラス基板の上に少なくともガラス粉末とエチレン性不飽和付加重合性モノマー(A)とを含有する隔壁形成材料層を形成する工程、(2)隔壁形成材料層の上に感光性樹脂層を形成する工程、(3)感光性樹脂層をパターンを有するマスクを通して露光する工程、(4)感光性樹脂層を現像する工程、(5)サンドブラスト処理によって硬化した感光性樹脂層で覆われていない隔壁形成材料層の少なくとも一部を除去する工程、(6)硬化した感光性樹脂層を剥離する工程、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法。
IPC (5件):
H01J 9/02
, G03F 7/004
, G03F 7/027
, G03F 7/40
, H01J 11/02
FI (5件):
H01J9/02 F
, G03F7/004 501
, G03F7/027 513
, G03F7/40 521
, H01J11/02 B
Fターム (25件):
2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC66
, 2H025CA00
, 2H025CB43
, 2H025DA29
, 2H025FA42
, 2H025FA47
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA23
, 2H096HA30
, 5C027AA09
, 5C040GF18
, 5C040GF19
, 5C040JA17
, 5C040KA08
, 5C040KA14
引用特許: