特許

J-GLOBAL ID：200903035950432997

圧電振動子及びその製造方法ならびに物理量センサー

発明者： 池田 智夫 ,  堀内 貞男
出願人/特許権者： シチズンホールディングス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-323312
公開番号（公開出願番号）：特開2008-141307
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：

【課題】本発明は、小型で精度の高い圧電振動子と、その圧電振動子を用いた小型で精度の高い物理量センサーを提供することができる。また、生産効率に優れ、生産性の高い圧電振動子の製造方法を提供することができ、さらには、小型で精度の高い圧電振動子の製造方法を提供することができる。【解決手段】基部と基部から突出する振動脚とを備えた圧電振動片を有し、この圧電振動片に電圧を印加するための電極を備えた圧電振動子において、圧電振動片の電極の上面に絶縁膜が形成されることを特徴とする。また、その製造方法は、圧電材料を加工し、圧電振動片を形成する振動片形成工程と、圧電振動片上に電極を形成する電極形成工程と、圧電振動片に電圧を印加して振動脚を振動させ振動脚の共振周波数を測定する振動測定工程と、電極の上面に絶縁膜を成膜して振動脚が所望の共振周波数になるよう調整する振動調整工程とを有している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、 この基部から突出する振動脚とを備えた圧電振動片を有し、 この圧電振動片に電圧を印加するための電極を備えた圧電振動子において、 前記電極の上に、前記振動脚の周波数を調整するための絶縁膜を形成したことを特徴とする圧電振動子。

IPC (6件)：

H03H 9/215 ,  H03H 3/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H03H9/215 ,  H03H3/04 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (6件)：

5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108HH04 ,  5J108NA03 ,  5J108NB03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 振動片、振動子、発振器及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-323985   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 振動ジャイロスコープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-209222   出願人：富川義朗