荷電粒子加速装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067756
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270194
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】荷電粒子加速装置の加速電圧を高速にかつ高精度に変化させる。【解決手段】荷電粒子源と加速電極間に加速電源を配置すると共に、加速電極と接地電位間に電圧可変可能な電圧印加手段を備えた。【効果】荷電粒子加速装置の加速電圧の変化の際の追従性,高安定性を実現できる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、該荷電粒子源から発生した荷電粒子を加速するための加速電極を備えた荷電粒子照射装置において、前記荷電粒子源と前記加速電極間に加速電源を配置すると共に、前記加速電極と接地電位間に電圧可変可能な電圧印加手段を備えたことを特徴とする荷電粒子照射装置。

IPC (3件)：

H05H 5/00 , G21K 5/04 , H01J 37/248

FI (3件)：

H05H 5/00 , G21K 5/04 E , H01J 37/248 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

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