特許
J-GLOBAL ID：200903035968543494

コプラナリティ検査装置

発明者：
銅川 義博

銅川 義博 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-009106
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196625
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 ICチップの各バンプの高さの差の検査を安価、高速に行う。【解決手段】 カメラ4は検査対象基板1を撮像しAD変換手段5は濃淡画像データbを出力する。二値化手段6は、バンプ斜面部のみを”1”にする二値化レベルにより二値化する。検査位置算出手段7はラベリング処理後各ラベルの重心位置を算出し各バンプのコプラナリティ検査位置とし検査位置データdを出力する。XYステージ駆動手段8は検査位置データdとレーザ変位計9の計測位置が一致するようにXYステージ10を駆動し、高さ計測手段11はレーザ変位計により検査位置の高さ測定を行いバンプ高さデータgを出力する。検査位置がある場合はXYステージ10の移動とレーザ変位計9による高さの測定を繰り返す。コプラナリティ算出手段12は各バンプのバンプ高さデータgを入力しコプラナリティ値hを出力し、良不良判定13はコプラナリティ判定値との比較を行う。
請求項（抜粋）：
バンプの斜面部を光らせるために検査対象基板の周囲に配置された照明と、検査対象基板を撮像しアナログ画像データを出力するカメラと、前記アナログ画像データを入力しAD変換を行い濃淡画像信号を出力するAD変換手段と、前記濃淡画像信号を入力し反射光量が多いバンプ部分が”1”となるように二値化する二値化手段と、前記二値化手段で二値化された二値化データを入力しラベリング処理により各ラベルの重心位置を算出し前記算出された重心位置にもとづいてバンプ高さ検査範囲を定める検査位置算出手段と、前記検査位置算出手段で得られたバンプの高さ検査位置と光学的変位計測手段の計測位置とを一致させるように前記検査対照基板をXY移動するXY駆動手段と、前記レーザ変位計を用いてバンプの高さを計測する高さ測定手段と、前記バンプ高さ検査位置の高さ計測結果からコプラナリティを算出するコプラナリティ算出手段と、前記コプラナリティと良品判定値とを比較して良不良判定する良不良判定手段を含むことを特徴とするコプラナリティ検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/02 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01B 11/02 H ,  H01L 21/66 J
引用特許：
審査官引用 (2件)

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