試料表面形状検査装置及び試料表面形状検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-008493
公開番号（公開出願番号）：特開2007-192560
出願日： 2006年01月17日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：

【課題】試料上にレジスト材料が形成されていても、その表面形状を、ミラー電子プロジェクション式検査装置によって検出可能にするパターン検査技術を提供する。【解決手段】試料7のレジスト材料表面に照射することでその表面の電気伝導度を上げることのできる波長(160〜250nm)の紫外光を、紫外光源30より試料表面に対して全反射する角度(試料水平方向に対して約10度以下)以下で入射させることにより、試料表面のみを導電性にするよう構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を載置する試料ステージと、前記試料に対して電子ビームを照射する照射光学系と、前記試料に照射した電子の一部もしくは全てが前記試料の最表面付近で反射されるような電界を発生する手段と、前記電界により反射された電子を結像させて前記電子ビームの照射領域の像を形成する結像光学系と、得られた前記像を画像信号として検出する画像信号検出手段と、得られた前記画像信号を処理して前記試料の表面状態を検査する画像信号処理手段とを備えた試料表面形状検査装置において、波長160nmから250nmの紫外光を試料表面で全反射照射できる光源を有し、前記試料に前記紫外光を照射して前記試料表面の不均一帯電を除去する予備帯電制御手段を具備することを特徴とする試料表面形状検査装置。

IPC (5件)：

G01B 15/04 , G01N 23/225 , G01N 23/20 , H01J 37/20 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B15/04 K , G01N23/225 , G01N23/20 , H01J37/20 H , H01L21/66 C

Fターム (37件)：

2F067AA53 , 2F067BB01 , 2F067BB04 , 2F067BB27 , 2F067CC17 , 2F067GG08 , 2F067HH06 , 2F067KK08 , 2F067LL03 , 2F067LL15 , 2F067PP12 , 2F067QQ02 , 2F067QQ03 , 2F067RR30 , 2F067TT06 , 2G001AA03 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001GA06 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA09 , 2G001JA12 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA07 , 4M106CA38 , 4M106DB05 , 4M106DE01 , 4M106DE21 , 5C001CC04 , 5C001CC08

引用特許：

出願人引用 (2件)

荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-405332 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立ハイテクノロジーズ
パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-002002 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

審査官引用 (2件)

特開平4-272705
多機能マッサージ機
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-176563 出願人：後藤文夫

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