特許
J-GLOBAL ID：200903035989202654
位置計測方法及び位置計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112060
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280815
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 物体の位置等の計測を行う時、物体を照明する光の照度分布の影響を受けない信号処理を行い位置情報を得ることができる位置計測方法及び位置計測装置を得ること。【解決手段】 被検査物体の像を撮像素子上に結像し、前記被検査物体の情報をFFT又はDFT等の信号処理を用いて検出する計測装置において、計測用の照明光によって形成される前記被検査物体上における照度分布を予め測定し、該測定値より前記信号処理に補正をかけることを特徴とした計測装置。
請求項（抜粋）：
照明光によって照明した被検査物体の像を撮像素子上に結像し、前記被検査物体の位置情報をFFT(高速フ-リエ変換)又はDFT(離散的フ-リエ変換)等の信号処理を用いて検出する位置計測装置において、該照明光によって形成される前記被検査物体上における照度分布を予め測定し、該測定値より前記信号処理に補正をかけることを特徴とした位置計測装置。
引用特許：
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